SEMI規格は単なる装置通信仕様ではなく、製造システムアーキテクチャの構造安定性を支える枠組みです。本記事では、状態モデル、イベント構造、責任分界の観点から標準化がもたらす設計効果を整理します。 [...]
半導体製造装置制御におけるSEMI規格（GEM／SECS）対応と高精度プロセス制御を両立するための、JSSの技術的アプローチと実績をご紹介します。 [...]
